용인--(뉴스와이어)--서플러스글로벌(대표 김정웅)은 반도체 제조 공정의 핵심 영역인 ALD(원자층 증착) 공정 기술과 웨이퍼 이송·로딩 기술에 대한 국내 특허 3건 등록을 완료했다고 밝혔다.

이번 특허 등록은 중고 반도체 장비의 단순 거래를 넘어 장비의 성능과 활용 가치를 높이는 ‘장비 업사이클링(Upcycling)’ 기술 역량을 강화했다는 점에서 의미가 있다.

등록된 특허는 △‘ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법’ △‘ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템’ △‘웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템’ 등 총 3건이다.

공정 안정성을 높이는 실링 기술… 장비 재활용 가치 향상

‘ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법’ 특허는 반응기 내부 압력을 안정적으로 제어해 공정 신뢰성을 높이는 기술이다. 반응기 상부와 하부 영역 간 압력 차이를 정밀하게 관리함으로써 공정 수행 중 발생할 수 있는 압력 불균형을 최소화하도록 설계됐다. 이를 통해 장비 개방, 유지보수, 재가동 과정에서 발생할 수 있는 리스크를 줄이고, 기존 장비의 재사용성과 운용 신뢰성을 높이는 데 기여할 것으로 기대된다.

AI 기반 밸브 이상 감지… 예방정비와 장비 수명 연장 지원

‘ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템’ 특허는 반도체 장비 내 핵심 부품인 밸브의 상태를 AI 기반으로 분석하는 기술이다. 밸브의 개폐 동작, 압력, 유량 데이터를 실시간으로 분석해 이상 징후를 조기에 감지하고 향후 상태를 예측할 수 있도록 설계됐다. 해당 기술은 장비 이상을 사전에 감지해 예방정비 체계를 고도화하고, 주요 부품의 상태 관리와 장비 수명 연장을 지원하는 기반 기술로 활용될 수 있다.

웨이퍼 정렬 감지 기술… 재가동 장비의 생산성과 품질 안정화

‘웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템’ 특허는 웨이퍼 이송 및 적재 과정에서 정렬 상태를 정밀하게 감지하는 기술이다. 비전 센서를 활용해 웨이퍼 위치와 정렬 상태를 실시간으로 분석함으로써 이송 과정에서 발생할 수 있는 정렬 불량을 신속하게 감지할 수 있다. 정렬 불량을 조기에 확인함으로써 장비 재가동 및 공정 적용 과정에서 생산성과 품질 안정성을 높이는 데 도움을 줄 수 있다.

장비 거래를 넘어 ‘기술 기반 업사이클링’으로 확장

서플러스글로벌은 중고 반도체 장비 거래, 리퍼비시 및 기술 서비스를 수행하는 과정에서 장비 운용, 유지보수 및 공정 안정화와 관련된 기술 역량을 지속적으로 축적해 왔다. 특히 용인 반도체 장비 클러스터를 기반으로 장비 평가, 공정 검증, 기술 지원 및 교육 활동을 수행하고 있으며, 이번 특허는 이러한 현장 경험과 연구개발 활동의 결과물이다.

이번 특허 등록은 서플러스글로벌이 중고 장비를 단순히 재판매하는 기업을 넘어 장비의 상태를 진단하고 개선해 새로운 활용 가치를 부여하는 반도체 장비 업사이클링 기업으로 기술 포트폴리오를 확장하고 있음을 보여준다. ALD 공정 안정화, AI 기반 장비 진단, 웨이퍼 이송 기술은 기존 장비의 재활용 가능성을 높이고, 반도체 생산 과정의 안정성과 생산성 향상에 기여할 수 있는 핵심 기술로 평가된다.

서플러스글로벌은 반도체 장비·부품 거래 플랫폼 ‘SemiMarket(www.SemiMarket.com)’을 운영하고 있으며, 최근에는 AI 기반 수출통제 자동화 기술(ECP AI Agent) 관련 특허를 등록하는 등 장비 기술과 디지털 플랫폼 역량을 함께 강화하고 있다. 회사는 장비·부품 거래 데이터, 공정 기술, AI 진단 기술을 연계해 반도체 장비의 재사용·재유통·재가치화를 촉진하고, 글로벌 반도체 공급망의 효율성과 지속가능성을 높이는 방향으로 기술 경쟁력을 확대해 나간다는 계획이다.

김정웅 서플러스글로벌 대표는 “반도체 장비 업사이클링은 단순히 중고 장비를 다시 사용하는 것이 아니라 장비의 상태를 정확히 진단하고 성능과 활용 가치를 높여 산업 생태계 안에서 다시 쓰이게 하는 과정”이라며 “이번 특허 등록은 서플러스글로벌이 장비 거래 사업과 공정 기술 역량을 함께 강화하는 중요한 계기가 될 것”이라고 말했다.

이어 “확보한 ALD 및 AI 기반 장비 진단 기술을 식각(Etch) 공정 장비 영역으로 확장 적용해 나가고 있으며, 추후 주요 레거시 공정 장비 전반으로 지능화 솔루션을 확대하는 것을 목표로 하고 있다”고 밝혔다.

서플러스글로벌 소개

서플러스글로벌은 2000년 설립된 글로벌 반도체 장비·부품 유통 전문 기업이다. 반도체 전공정 장비, 후공정 장비, 반도체 장비 부품 등 반도체 산업 전반에 필요한 레거시 아이템을 취급하며, ‘as-is, where-is’ 판매를 비롯해 리퍼비시, 리마케팅, 턴키솔루션, 하베스트 등 다양한 서비스를 제공하고 있다. 한국 본사를 중심으로 미국 산호세, 중국 상하이, 대만 신주, 일본 도쿄, 독일 뮌헨, 싱가포르에 글로벌 거점을 운영하고 있으며, 반도체 장비·부품 거래 플랫폼 ‘세미마켓(SemiMarket)’을 통해 레거시 반도체 자산 거래의 디지털 전환을 추진하고 있다.