도쿄, 일본--(뉴스와이어)--제올(JEOL Ltd., 대표이사 사장 오이 이즈미)은 레이저 가공 시스템을 탑재한 주사전자현미경(SEM) 시스템 ‘라즈엣지(LazEdge)’를 개발하고 2026년 5월 25일부터 본격적인 판매를 시작한다고 발표했다.

집속 이온 빔(FIB) 시스템과 같은 단면 시편 전처리 장비는 연구 기관, 대학 및 첨단 산업 전반의 과학 기술 분야에서 널리 사용되고 있다. 최근에는 가공 표면의 고품질을 유지하면서도 대면적을 고속으로 가공할 수 있는 시스템에 대한 수요가 급증하는 추세다. ‘라즈엣지’는 제올의 SEM과 하마마츠 포토닉스(Hamamatsu Photonics K.K.)의 독자적인 레이저 기술을 통합한 혁신적인 장치로, 전자현미경의 시료 챔버 내부에서 레이저 가공을 직접 수행할 수 있게 한다.

이 시스템은 고속, 대면적 가공을 통해 전처리된 고품질 단면 시료를 외부 대기에 노출시키지 않고 SEM 관찰, 원소 분석, 결정 방위 분석 등 후속 분석으로 단절 없이(Seamlessly) 연계할 수 있게 한다. 그 결과 금속 시료 분석, 대기 비노출(Air-isolation) 환경이 필요한 배터리 분석, 고속 단면 가공이 필요한 반도체 불량 분석(Failure analysis) 등 광범위한 분석 요구를 완벽하게 충족시킨다.

[주요 특징]

1. 시료 챔버 내부의 고품질 단면 가공 구현

라즈엣지는 레이저 가공 시스템을 SEM에 결합하여, 레이저 빔의 공간 위상 변조를 가능하게 하는 독자적인 광학 시스템을 사용함으로써 시료 챔버 내에서 LIPSS(Laser-Induced Periodic Surface Structures, 레이저 유도 주기적 표면 구조) 형성이 억제된 대면적의 고품질 단면 가공을 고속으로 실현한다.

2. ‘라즈엣지 실드’를 통한 안정적이고 청결한 가공

독자적 차폐 기술인 ‘라즈엣지 실드(LazEdge Shield)’는 가공 중 발생하는 파편(Debris)의 비산을 극소화해, 검출기, 컬럼, 시료 챔버 벽면의 오염 없이 청결한 가공을 보장한다. 또한 레이저 시스템은 시료 가공 위치와 실드의 레이저 조사 위치에 동시에 초점을 맞출 수 있다. 이 기술은 가공과 실드 클리닝(오염 방지)을 동시에 수행할 수 있게 해준다. 이러한 기술들은 항상 안정적인 출력을 유지하면서 고품질 단면 가공을 구현하는 핵심 기반이 된다.

3. 단절 없는 고효율(High-throughput) 가공 및 관찰

SEM 시료 챔버 내부에 실드를 설치하고 챔버 내에서 가공을 수행함으로써, 가공과 관찰을 모두 원활하고 고효율로 수행할 수 있다. 예를 들어 EBSD(전자후방산란회절) 측정의 경우, 레이저 가공만으로도 EBSD 측정에 충분한 품질의 단면 시편을 확보할 수 있다. 가공과 측정을 자동으로 반복함으로써 3D EBSD 데이터 획득도 가능하다.

[판매 목표] 연간 10대

관련 링크

제품 정보: 라즈엣지 레이저 SEM 시스템 (LazEdge Laser SEM system)

https://www.jeol.com/products/scientific/sem/lazedge.php

제올(JEOL Ltd.)

일본 도쿄도 아키시마시 무사시노 3-1-2 (우편번호 196-8558)

대표이사 사장: 오이 이즈미(Izumi Oi)

(종목 코드: 6951, 도쿄증권거래소 프라임 시장)

www.jeol.com

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