서울--(뉴스와이어)--고도의 엔지니어링, 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션 분야의 글로벌 리더인 Advanced Energy (나스닥: AEIS)가 Sekidenko 4100T Pyrometer를 발표했다.

업계 최고의 Advanced Energy의 OR4000T를 대체하는 4100T 광섬유 온도계(OFT)는 첨단 반도체 및 박막 분야에 탁월하며, high accuracy, wide temperature range 및 다중 채널에서 동시에 높은 read rate를 제공한다.

Advanced Energy의 마케팅 및 애플리케이션, 센싱 및 제어 담당 부사장인 Jeff Hebb는 “Advanced Energy의 Pyrometer는 업계 최고의 성능으로 상위 반도체 OEM에서 사용되고 있다. 4100T는 업계 최고의 당사 OR4000T를 넘어서는 많은 개선으로 리더십을 더욱 확장해 고객이 타의 추종을 불허하는 수준의 공정 제어 및 제조 성과에 도달할 수 있도록 지원한다”며 “다양한 기능을 가진 4100T는 OR4000T를 drop-in 방식으로 대체해 기존 고객에게 매우 편리한 업그레이드를 제공한다. 또한 제품은 EtherCAT, 직렬 및 USB 통신도 지원한다”고 말했다.

4100T를 사용해 최대 4가지 온도를 동시에 측정할 수 있어 멀티포인트 제어에 필요한 제어 박스의 수를 줄이고 form factor를 축소하며 비용 절감 효과를 제공할 수 있다. 채널당 최대 1kHz의 높은 read rate는 더 빠른 온도 제어와 균일성을 가능하게 함으로써 신속한 열처리, 레이저 어닐링, 원자층 증착 및 기타 첨단 증착 기술에 적용할 수 있다.

적용 분야별 변경 가능한 파장을 갖춘 다채널 OFT는 가장 까다로운 온도 측정에 탁월한 정확도, 반복성, 안정성 및 빠른 read rate를 제공한다. 기존에 사용되던 thermocouple 및 기타 접촉 센서의 사용은 웨이퍼와 물리적으로 접촉하면 열전달 효과로 손상, 오염, 측정 오류가 발생할 수 있어 바람직하지 않다. 4100T는 해당 제품에 접촉하지 않고 현장에서 ±1.5°C의 정확도로 온도를 직접 측정한다. 이런 잠재적인 접촉 측정 문제를 제거하는 것 외에도, 4100T는 웨이퍼가 이동 중이거나 매우 높은 온도 또는 높은 ramp rate로 처리되는 application에서 최적의 솔루션이기도 하다.

자세한 제품 정보와 기술 사양은 홈페이지에서 확인할 수 있다.

Advanced Energy 개요

Advanced Energy (나스닥: AEIS)는 임무 수행에 필수적인 적용 및 프로세스를 위해 고도로 설계된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더다. AE의 전력 솔루션을 사용하면 반도체 장비, 산업, 제조, 통신, 데이터 센터 컴퓨팅 및 건강 관리를 비롯한 광범위한 산업의 복잡한 적용에서 고객 혁신을 실현할 수 있다. 전 세계 엔지니어링 노하우 및 대응력 있는 서비스 및 지원을 통해 당사는 기술 발전을 충족하고 고객을 위한 성장을 촉진하고 전력의 미래를 혁신하기 위해 협력적인 파트너십을 구축한다. Advanced Energy는 전 세계 고객을 위해 40년 동안 전력을 공급해 왔으며 미국 콜로라도 덴버에 본사를 두고 있다. 상세한 정보는 홈페이지에서 확인할 수 있다. DMTF Redfish®는 Distributed Management Task Force Cor., Portland OR의 등록 상표다.