아산--(뉴스와이어)--글로벌 기업 Busch Group의 계열사인 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions가 새로운 UltiDry 다단 회전 로브 진공 펌프를 공개했다. 까다로운 반도체 응용 분야 용도로 설계된 UltiDry는 견고한 성능과 높은 에너지 효율성 및 공정 유연성을 제공한다.

UltiDry 진공 펌프는 부식성 가스와 공격적인 부산물 및 무거운 분말 부하를 견딜 수 있도록 설계됐다. 오일프리 다단계 압축 방식은 오염 없이 깨끗하고 건조한 진공 생성을 보장하므로 화학기상증착(CVD), 원자층 증착(ALD) 및 물리적 증착(PVD)과 같은 공정에 이상적이다.

특허받은 퍼지 시스템 및 매우 높은 에너지 절감 효과

UltiDry의 핵심 혁신 중 하나는 진공 펌프 보호를 목적으로 개발해 특허받은 분말과 같은 오염 물질을 세척하는 퍼지 주입 시스템이다. 이 기능은 파우더 집약적 공정 시에도 안정적인 성능과 원활한 작동을 보장한다.

반도체 제조 시 에너지 소비 비용은 주요한 요소다. UltiDry는 최적화된 다단계 루츠 설계 덕분에 동급의 다른 진공 펌프 대비 최대 87%의 에너지 절감 효과를 제공한다. 이는 탄소 발자국을 줄일 뿐만 아니라 고객이 지속 가능성 및 비용 효율성 목표를 달성하는 데 도움이 된다.

이 진공 펌프는 50°C에서 270°C까지의 넓은 온도 범위에서 안정적으로 작동해 다양한 공정 요구 사항에 유연하게 적응한다. 따라서 온도에 민감한 코팅 공정 및 부식성 반도체 응용 분야 모두에 적합하다. 다양한 온도 조건 하에서 안정적인 작동을 유지함으로써 UltiDry는 일관된 제품 품질 및 긴 서비스 간격 지지대 역할을 한다. UltiDry는 내부식성 코팅과 세척 가스 사용 감소, 높은 에너지 효율성으로 까다로운 제조 환경을 위한 내구성이 뛰어나고 유지 보수 부담이 적은 솔루션이다.

Busch Group 소개

Busch Group은 진공 펌프, 진공 시스템, 블로어, 컴프레서 및 가스 저감 시스템을 제조하는 세계 최대 규모의 제조업체 중 하나다. 그룹 산하에는 잘 알려진 두 개의 브랜드 Busch(부쉬) 진공 솔루션과 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions가 포함돼 있다. Busch Group의 광범위한 제품 및 서비스로는 식품, 반도체, 분석, 화학, 플라스틱 등 모든 산업 분야의 진공, 압력 및 저감 응용 분야를 위한 솔루션 등이 있다. 또한 맞춤형 진공 시스템의 설계 및 제작, 그리고 전 세계적인 서비스 네트워크도 포함된다. Busch Group은 Busch(부쉬) 일가가 경영하는 가족 기업이다. 전 세계 44개국에서 8000명 이상의 직원이 Busch Group에서 근무하고 있다. Busch(부쉬)의 본사는 독일, 프랑스 및 스위스의 3개국 접경 지역에 위치한 바덴뷔르템베르크 주 마울부르크에 위치하고 있다. Busch Group은 중국, 체코, 프랑스, 독일, 인도, 루마니아, 한국, 스위스, 영국, 미국 및 베트남에 위치한 23개의 자체 생산 플랜트에서 제품을 생산하고 있다. Busch Group의 연간 통합 매출은 약 20억유로다.